第396章 轉變與某暴君(第3頁)

 首先我們先嚐試將phs樹脂、光致產酸劑、交聯劑、流平劑和溶劑混合，攪拌溶解後，經孔徑為0.45\/0.22um的微孔濾膜過濾器過濾，得到光刻膠。 

 純度肯定不行，現在又不是讓我們將純度最高的最好最優秀

的光刻膠做出來！ 

 現在我們需要的是能夠做，能夠填飽肚子！連uv光刻膠都造不出來，還想造euv紫極外光的光刻膠？做夢！ 

 看到沒有，前烘的溫度為80-110c，前烘的時間大致為40-80s；所述曝光的能量為100-400msec；所述後烘的溫度為80-110c，後烘的時間為40-80s；所述顯影的顯影液為質量分數2.38％的四甲基氫氧化銨水溶液，顯影的時間為60s。 

 與夏芯國際跟我們提供的光刻膠對比，這個技術配比的光刻膠確實有一部分增益效果，交聯劑的添加量為0.55-0.75％，駐波效應得到改善，特別是交聯劑的添加量為0.5％時駐波效應改善最明顯，效果最好。 

 不過這個添加劑的量必須要嚴格光控，每一毫克都不能夠出問題！ 

 既要保證得到圖形的成膜強度，又要減小交聯程度，更要減小顯影液浸泡光刻膠側面由過曝光和欠曝光帶來的差異。 

 這個附圖上面的批註和說明有問題，是誰先寫上去的？” 

 楊剛省在周瑜面前，是一個溫文爾雅的有識之士，技術中年人。 

 但是在進入研發狀態，帶團隊進行光刻膠研發的時候，就像是一個實驗室暴君，每天不是在噴人，就是在教育人的路上，甚至還有年齡比較小的研究人員被他給訓哭。 

 “哭？男子漢大丈夫，哭起來像個娘們！你手抖得都不會加材料了！浪費了材料，你去賠損失嗎？！ 

 知道錯了，就去改！” 

 “誰洗的玻璃管？！你是碩士沒畢業嗎？連個玻璃管都刷洗不乾淨，是想我帶你回去讀書嗎？丟我的臉！”