第606章 設備(第3頁)

 稍微喝了口茶杯中的溫水，平復心情後，這才接著對自己團隊的學生們說道：“理論與實際，永遠是相輔相成的。 

 把咱們研發的duv光刻機適配光源設備拿出來，向大家展示一下吧。” 

 張剛修與黎旭洞兩人合作打開了一個頗大的行李箱，展示箱子中被減震部件和真空包裝好的光源部件。 

 雖然具體結構被一些部件設計遮掩，但包括鄒王振等人在內的所有教授、博士們，都能夠清楚的看清楚

，這套光源設備絕對不是他們認知中的其他企業的現成品。 

 “握草？！”原本還頗有資歷，表情嚴肅的教授，在看到這一幕時，都下意識爆出了粗口。 

 除此之外，還有更多四五十歲的“中年人”，騰的站起身子，就想走到講臺，觸摸這套設備。 

 “這外殼的光澤，是什麼高分子材料？還是有做漆？” 

 “碟片激光器還是光纖激光器？” 

 “這是已經做好了適配嗎？是哪個光刻機可以適配的光源設備？” 

 “duv？如果沒問題的話，豈不是euv深紫外光刻機也能夠等技術進步，開始列裝？“ 

 “我記得給阿斯麥公司提供光源激光器的快通公司，用的好像是碟片激光器，看這個光源結構，很明顯是固體狀態的碟片激光器。” 

 在這些驚訝、疑問的話語交談聲之中，周潭教授聽到了認真討論探索的聲音。 

 他對這位來自於西工大的教授，頷首，微笑道：“沒錯，我們使用的是碟片激光器，雖然碟片激光器和光纖激光器都是優秀光源的技術處理路線，但是在我們的測試中，一旦功率超過了200w，碟片激光器的優勢比光纖激光器更明顯。 

 它直接解決了傳統激光器，在熱透鏡環節的承載上限問題，並且有更高的光電轉換率，既然要成為我們大夏聯邦半導體產業的革新光源，自然不能夠在這方面有弱點。”