第八十六章 質疑剽竊

李皓深諳打人要打臉的道理，只可惜這回他們似乎是沒臉來，重新又換了一批人。

雖然依舊那般的傲慢，年紀也是一般的大，但總歸是差了點感覺。

正當李皓都不想搭理他們的時候，他們卻又主動上門來找虐。

因為在光刻機研究卡殼在193n的這些年裡，日本和阿斯麥公司選擇了不同的路線。

日本人堅持以往思路，繼續迭代技術，去研發新的光源，堅持在傳統乾式微影技術上一條路走到底。

而阿斯麥則因為加入了美國牽頭的euv聯盟，就主張使用極紫外技術生產設備。

從後面的發展情況來看，euv技術無疑更先進，日本在選擇傳統派陣營時，其實就已經輸了。

但事實上，日本人也並非不願意嘗試極紫外光技術，而是被美國別有用心的排除在了門外。

畢竟即使它們再怎麼願意當兒子，也架不住人家的忌憚。

就像是之前的廣島協議一般，美國是不會允許有人來實際威脅他們的地位的，即使是乾兒子也不行。

只不過在現如今的階段，因為技術儲備的原因，雙方暫時都沒有達成目標。

不過相比於極紫外光技術依舊存在的很多技術難關，日本人這裡的157nf2激光的研發卻已經有了實質性進展。

所以在這個時候，對於中國人弄出來的浸潤式光刻機，就讓他們極為排斥。

因為它們能從現有公佈出來的數據中看出來，浸潤式光刻機的後續開發空間巨大。

只需要調整光刻膠上面的液體密度，就能將193n的光波長折射成需要的精度。

而且最重要的一點，這種浸入式方案屬於小改進大效果，有著以往的產品經驗，穩定性和開發速度必然都不是它們的新產品能比的。

要知道它們為此可是投入了重資，一旦先機被搶走了，那投進去的錢不就全打了水漂。

反觀阿斯麥這裡，見到了這臺光刻機之後，反應也是非常強烈。

隨即就找到了林奔堅詢問情況，原來就在今年的早些時候，他們就已經和林奔堅取得了聯繫，並最終同意了對林奔堅給的浸潤式方案進行實驗。

結果他們這還在實驗中的方案，現在卻見這裡已經拿出了成品，當然就想要問清楚。

林奔堅對此也是一頭霧水，好在他腦子裡面還有理智，沒有選擇直接跳出來。

而是在徐教授發完言下臺後，趕忙就帶著阿斯麥的人，找到了徐教授。

“徐教授，我想請問你們這個浸潤式方案是從哪裡來的？”

徐教授之前聽李皓提起過這位，也聽過他的一些研究方向。

所以對於他的質問，並沒有太過意外：“這個自然是我們基於浸沒式光刻技術，自行研發出來的成果，有什麼問題嗎？”

浸沒式光刻起源於浸潤式顯微鏡，是由一個意大利科學家在1855年發明的。

相對於光刻機是將圖案縮小投影到光刻膠上，這個顯微鏡的功能則是將圖案放大到d探測器上。

雖然是兩個不同的領域，但根本的原理卻是相通的，所以徐教授這麼說也沒問題。

可是架不住林奔堅不信啊，質疑道：“真的是這樣嗎？我記得之前，曾經有一位大陸人接觸過我，希望我能加入到國內的實驗室工作。

雖然當時他並沒有說哪家實驗室，但看現在情況，他應該和您是一起的吧。

您可能還不知道，我已經和阿斯麥公司達成了合作，也正在研究浸沒式光刻機。”

聽到這話，徐教授也是不由皺起了眉頭：“所以你是懷疑，我們偷取了你的研究成果？這簡直就是個笑話。

就不說浸沒式的概念，早在上個世紀就有人提出過，就算是有關光刻機的具體理論，也是在1980年，由列支敦士登公國的.tabarelli和e..Lobach提出。

並且還在美國申請了專利，這個和你好像也沒什麼關係吧，所以你指的偷取成果是從何而來。”

這話堵得正中核心，畢竟老美自己的專利認可，它們總不能來自打嘴巴。

徐教授這裡聚集了一堆人，也讓在後面關注的李皓注意到了。