第109章 失蹤的院士(第2頁)

 實際上，蘇武聽了這個問題，心裡很坦然，因為李耀華問的問題倒是他過去從事的方向之一，在2009年之前，這個問題一直沒能突破。

 但蘇武那時候，als微聲薄膜的製備工業化已經很成熟了，他剛才稍微停頓了一下，似乎從石蘊璞的臉上看到一絲竊喜，故意多停頓了幾秒，整理思路回答道；

 “在als微聲薄膜濾波器的製作過程中，通常需要對薄膜進行兩次圖形化刻蝕操作，以我的瞭解，國內現在普遍採用剝離工藝，利用這種技術光刻出圖像。

 als 薄膜生長時，襯底溫度會直接升高，而如果時間較長，光刻膠就會因高溫碳化無法去除，導致剝離失敗。

 幹法刻蝕的 rie 是普通反應離子刻蝕，但因為離子濃度低，刻蝕速度慢，工藝調整空間小，時間一長光刻膠就碳化了。

 icp-rie 刻蝕速度快，是最佳選擇，得控制和研究 icp-rie 的刻蝕過程,所以在als壓電薄膜圖形化中，所以對國內的研究和應用發展來看，要多多研究光刻工藝中的曝光，顯影以及固膠工藝參數對圖形角度的影響.......”

 於老的臉上露出了滿意的笑容，不愧是我看中的人，沒給我丟臉！

 李耀華和其他幾個院士都懵了，這小子是個天才吧，這怎麼什麼都知道？

 石蘊璞徹底石化.......

 .......

 蘇武不傻，他也想平凡正常一點，但是重生以來已經一切由不得他了。

 李耀華，賀雲水對視一眼，也都是不可思議的看著蘇武。

 於老後邊的李天東和吳朝陽兩位院士也交頭接耳。

 於老看了一眼時間，對一旁的李耀華說：

 “耀華，你的那個學生、薩日布是不是也要今天來京城，叫他一塊過來談談嘛。”

 李耀華笑著說：“老師，薩日布本來今天上午就應該來的，我給他打電話也沒接，不知道怎麼回事，我一會再給他打個電話。”

 “他去年是不是也評上院士了？”

 “是的，還是感謝老師您的力挺。”

 “小薩工作做的出色......”