第607章 後續(第3頁)

 不過除此之外，更多人是心神激動。 

 光源部件被攻克了，光刻機的其他系統部件，也應該快了。 

 “不行，我們也得加快速度，不能夠被其他團隊超過。” 

 “這段時間，你們和家人都說清楚，我不會放假了，咱們團隊

必須要解決工藝問題。” 

 “要檢測半導體芯片製造過程中的光學性能，就需要用到光學量測系統，沒想到大夏新科的團隊居然連這個都一併搞定了，真是江山代有才人出。” 

 “你們有沒有發現，大夏新科的這套光學量測系統，不僅可以用於測量製造過程中的光學參數，剛在ppt上面的焦距、曝光均勻性、聚焦深度等數值，好像比我們現在用的還要精密一些？” 

 “很可能是那群半導體工業軟件開發團隊的成果，從晶圓製造、光刻機調試、光刻模板檢測這幾個領域項目，聽說這個團隊都有進駐。” 

 議論之中，鄒王振教授與周潭教授兩人在會後交流了片刻。 

 在得知對方願意共同合作研發euv光源，鄒王振教授雖然還是搖頭婉拒了招攬。 

 “能夠有你們在這條路上前行，我雖然有些失落這個成果不是我們率先得出，但我相信我們堅持的路線也會有回報。 

 這次是你們領先，但下一次，說不準就是我們團隊領先了。” 

 周潭聽到對方這話，也頷首祝福道：“既然如此，那我們下次再會，我相信不論是貴方，還是我們團隊，最後肯定都能夠成功，穩態微聚束技術在半導體光源的應用範圍還有很多可挖掘的地方。” 

 “嗯。” 

 鄒王振教授在交流、握手之後，轉過身，邁步向外走去。 

 他身旁的學生們，雖然還有些心思浮動，但表情已經比之前好許多。