第267章 沒有什麼難題是解決不了的【求訂閱】(第3頁)
“不過接下來我們要面臨的問題,是如何儘快攻克極紫外光刻機的研發工作。”
當白新周把問題直觀擺到檯面上,在座眾人頓時又陷入到了沉思中。
能參加這場會議的,都是相關領域內的院士教授。
可以說只有徐源專業性稍微偏點。
好在這次的集體沉默並沒有持續太
長時間,接著便見羅亞傑主動站起身來。
“請院裡放心,我們光電技術研究所,肯定會排除萬難朝更精密規格的光刻機邁進。”
“但也希望院裡能全力支持。”
羅亞傑如何不知道他這句話,會給光電技術研究所帶來多大壓力。
但這也是沒有辦法的事,
畢竟這是他們所擅長的領域,應該扛起大旗。
如今他們研究的超分辨光刻裝備,最大隻能蝕刻22納米規格的芯片,距離國際領先水平的7納米,確實還有很遠的距離。
主要大多數極紫外光刻機專利,基本上都被阿麥斯給壟斷。
在這種情況下,想要研究出國產7納米光刻機,無疑是又平添了難度。
奈何面對眼下的困境,除了研究出國產極紫外光刻機別無他法,否則就只能眼睜睜看著別人邁入5g,而國內只能原地踏步。
“放心吧。”
“對於高端芯片相關的項目,院裡和國家都會大力的扶持。”
白新周接過羅亞傑的話,聲音斬釘截鐵的回應,似乎是想給大家更多信心。
當然放眼全國,肯定不止光電技術研究所,自己研究國產光刻機。
接下來他們都會獲得更多的支持,也算是給光電技術研究所方面分擔了不少壓力。
總之無論哪方攻克相關技術,都國內半導體領域來說都是很好的消息。
而就在會議進行著的時候,徐源則突然想到,先前在楊老的牽線搭橋下,他參與了箐華趙翔教授的穩態微聚束項目。
通過激光操控儲存環中的電子束,使電子束繞環一圈後形成精密的微結構。
也就是微聚束。
通過這種微聚束,能在激光波長及其高次凱波上輻射出高強度窄帶相干光。
穩態微聚束光源把同步輻射,和自由電子激光結合起來。
可以得到高功率高亮度高重頻,且窄帶寬的光源。
並且波長可調。
藉助這種特性,完全能代替高端光刻機的深極紫外光源。
甚至就連下一代波長6納米的光源都能達到。
且不需要同步輻射的濾光器。
憑藉這些優點和特性,顯然是非常適合euv光刻。
還能稱得上是簡單粗暴。
不過穩態加速器光源價格比較昂貴,體積上更是大的驚人。
如果真能夠實現的話,恐怕都不能再用光刻機來稱呼形容,而是直接變成了光刻工廠。
但從另外一方面來說,這種做法不同於阿麥斯的極紫外光刻機,很多專利問題都能夠避免,其可行性還是比較高的。
要知道關於穩態微聚束的驗證,先前趙翔團隊已經完成相關實驗。
既然國產極紫外光刻機的研發工作,目前根本就看不到希望,不知道要多長時間才能追上國際水平,那麼有了新的思路肯定要積極實驗。
畢竟真能成功的話,效率驚人且龐大的光刻工廠。
不但能徹底解決眼下半導體領域的困境,甚至全球的芯片製造市場都能拿下來。
到時間說不定光刻機都會逐漸被淘汰掉。
……
雖然不知道白新周讓他參加這場會議的目的,但既然心裡面有了想法,肯定不能這時候還憋在心裡不說。
何況他也只是提供一種新的思路,究竟會不會具體展開研究還需要討論。
於是念頭停留在這裡,他果斷舉起了自己的手。
臺上白新周面對這樣的會議結果,說實話心裡面是有些遺憾失望的。
主要繼續按部就班的研發下去,確實看不到國產極紫外光刻機誕生的希望。
如果是以前那還好說,起碼有比較充足的時間,來用於研究。
可現在面對這樣一個局面,耽誤的時間越長,在5g領域上還海外的差距也會變得越大。
有可能先前好不容易所積攢的優勢,也會因為這次失利變得減退。
而正當他為此憂慮的時候,眼角餘光卻突然瞥到了臺下徐源的動作。
頓時心中一喜。
以他對徐源的瞭解,在這個時候主動舉手,想必會有什麼新的消息。
所以不敢有任何遲疑,他連忙對徐源說:
“徐院士是有什麼新的觀點嗎?”
“請講。”
此
話一出,在場眾人的目光,也再次集中到了徐源的身上。
迎上大家神情不同的眼神,徐源倒是沒想太多,當即便把自己組織好的語言講出來。
“是這樣的院長,之前我曾參加過趙翔教授的穩態微聚束項目,並且成功驗證了這個理論。”
“我認為穩態微聚束產生的光源,非常適合進行euv光刻。”
“其中可行性很高。”
“或許能作為我們另外一種全新的光刻思路。”
光源問題本來就是光刻機重要一環,在場眾人中顯然也知道穩態微聚束的事,被徐源這麼一提醒,思維不由得也快速運轉起來。
似乎是在分析著這件事的可行性。
白新周則面露喜色,下意識脫口問道:“是院裡正在建設的高能同步輻射光源嗎?”
“是的。”
“不過用於光刻研究的話,可能需要進行一定改建。”
徐源面對詢問並未賣關子,立刻點頭回答。
就這樣最終院裡初步認可了此方向,並把項目交給徐源儘快拿出詳細的方案,如果經過研討確認可行,那麼便會和極紫外光刻機的研究同步進行。
雖然徐源沒想到只是參加個會議,所負責的項目又多了一個。
但事有輕重緩急,他自然是欣然同意。
而就在會議結束之後,當天官方也正式進行回應。
明確表示接下來將全力解決高端芯片製造問題,讓國內網友振奮的同時,也完全出乎了海外方面的預料。
……
(本章完)